Az olajcsere periódusok igen lerövidülhetnek ha az elszívott levegő szennyezett, leginkább szilárd szemcsékkel. Az olajszűrő jellemzően a szivattyúba jutó olajat szűri, így tisztítva a rendszert a lerakódásokkal szemben. Leybold vákuumszivattyú olajszűrője jellemzően spin-on rendszerű felcsavarható szűrő, mely könnyen kívülről szerelhető, cserélhető a rendszeres karbantartás alkalmával. Egyes típusoknál 2 db olajszűrő illetve speciális kémiai szűrő is használható. A csavarvákuumszivattyú (screwline) olajszűrője betét rendszerű. Alternatív Leybold olajszűrő Sogevac A/B, Screwline, Trivac típusokhoz.