Egyes szivattyúknál csak opcionális jelleggel alkalmazható. Az olajcsere periódusok igen lerövidülhetnek ha az elszívott levegő szennyezett, leginkább szilárd szemcsékkel. Az olajszűrő jellemzően a szivattyúba jutó olajat szűri, így tisztítva a rendszert a lerakódásokkal szemben. Becker vákuumszivattyú olajszűrője jellemzően spin-on rendszerű felcsavarható szűrő.